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科技“湘”力量丨突破，8英寸
新湖南 • 动态
2024-09-01 20:05:35
什么是湖南力量
是心忧天下的胸怀
以湖湘之所能服务国家所需、人民所盼
是敢为人先的勇气
向着更高更深更快更强，不断向上登攀
是坚韧不拔的毅力
无惧艰难险阻坚定前行
是兼收并蓄的包容
集众家之所长，团结协作、共同攻坚
湖南省科学技术厅特别策划
《科技“湘”力量》系列视频
集中展示一批
重大科技创新成果
与你一同领略
可挑起千钧重担的科技力量
第三期《突破，8英寸》
见证国产8英寸碳化硅外延设备
走过的自主创新之路
成果名片
8英寸碳化硅外延设备，碳化硅外延片是制作碳化硅电力电子器件的关键材料，在用于生产碳化硅外延片的国产8英寸碳化硅外延设备研制攻关过程中，中国电科第四十八研究所团队先后解决了衬底易开裂、外延层厚度均匀性难控制等问题，实现了大尺寸外延材料生长所需的均匀、稳定温流场分布，进一步推进碳化硅电力电子器件制造降本增效，标志着国产第三代半导体专用核心装备迈进“8英寸时代”。
责编：王铭俊
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来源：湖南日报·新湖南客户端
